产品名称】:RESR圆光栅系统
产品规格】:RESR圆光栅系统
详细内容
 
  雷尼绍RESR圆光栅具有卓越的性能。RESR刻划精度达±0.5角秒、分辨率达0.004角秒,适用于精度要求极高的测量场合。

 
RESR圆光栅
 RESR圆光栅是一种是在柱面上直接刻线的一体式不锈钢圆光栅。20 µm栅距RESR与RGH20和RGH35读数头兼容,而40 µm栅距RESR与RGH34和RGH40读数头兼容。

刻划精度达±0.5角秒,系统重复性达0.004角秒
提供多种直径和刻线数,可与一系列具有行业标准的控制器兼容(直径从52 mm到550 mm,刻线数从4096到86 400)
具有专利的锥面安装方式极大地降低了安装误差,简化了系统集成
10 mm x 10 mm小截面圆光栅
低质量与低转动惯量的设计增强了动态性能
一体式不锈钢圆光栅能够抵御振动、机械和热撞击,以及热负载
为了保证更高的加速度和减速度以及更快的恢复时间,还可提供转动量极低的"B"截面圆光栅
参考零位(具有可重复的起始位置)由单独的励磁块提供
20 µm栅距圆光栅与UHV兼容型RGH20F读数头兼容
RGH20读数头的特性与优点

 读数头结构小巧,能够提供具有行业标准的模拟和数字输出
非接触式设计提供高速、可靠的操作,摩擦和磨损均为零
读数头的LED安装指示灯简化了安装过程
具有专利的光学滤波系统在大多数开放式光栅都不适用的条件下,仍具有优异的信号稳定性
REF接口提供自动增益控制 (AGC)、自动平衡控制 (ABC) 和自动偏移量控制 (AOC),极大降低了周期误差 (<±50 nm)
参考零位提供可重复的起始位置,而限位开关则指示轴行程的终点
可提供超高真空兼容型RGH20F版本
将RGH20与其他圆光栅读数头进行比较。

RGH34读数头的特性与优点
技术规格
 系统精度 — 20 µm栅距RESR与RGH20

读数头尺寸

14.8 mm x 36.0 mm x 13.5 mm (RGH20) (H x L x W)

10.5 mm x 36.0 mm x 13.5 mm (RGH20F)

9.5 mm x 15.0 mm x 15.0 mm (RGH35)

输出(分辨率)

RS422:5 µm、1 µm、0.5 µm、0.2 µm、0.1 µm、50 nm、20 nm(仅限RGH20F)、10 nm(仅限RGH20F)、5 nm(仅限RGH20F)

模拟:1 Vpp

细分

RGH20 — 内置细分电路达50 nm

RGH20F — REF接口(x4至x4 000)(可获得从x4至x4096的二进制细分系数)

RGH35 — RGI34接口(x4至x400)

参考零位 励磁块上的螺栓
限位开关 单限位(RGH40与40 µm栅距RESR具有双限位)
最高速度 2938转/分(直径为Ø52 mm时为20 µm)
间隙公差

0.8 ±0.08 mm

栅尺类型 20 µm栅距(与RGH20和RGH35兼容)和40 µm栅距(与RGH34和RGH40兼容)RESR圆光栅
真空兼容 是 — RGH20F和20 µm栅距RESR
系统精度 — 20 µm栅距RESR与RGH20

标称外径 (mm)

系统精度(角秒)

 52  5.6
 57  5.1
 75  3.9
 100  2.9
 101  2.9
 103  2.8
 104  2.8
 115  2.5
 150  1.9
 200  1.4
标称外径 (mm)

系统精度(角秒)

 206  1.4
 209  1.4
 229  1.3
 255  1.1
 300  1.0
 350  0.8
 413  0.7
 417  0.7
 489  0.6
 550  0.5