美国Micro-Vu测量仪_Sol 161

 

形号

Sol161

量测行程

160x160x160mm

外形尺寸

545x705x775mm

重量

55kg

承载重量

9kg

平台材质

铝合金

基座材质

铝合金

传动方式 X&Y

Steel Cross Roller Bearings

XY 精度

U=(2.8+L/150)μm

Z 精度

U=(2.8+L/100)μm

XY 重现性

U=2.8μm

Z 重现性

U=2.8μm

光学尺分辨率

1.0μm

影像

高分辨率彩色系统

光源

轮廓光,表面光,同轴光

光学系统/放大倍率

6.5:1 光学 Zoom, 0.7-4.5x

量测系统

InSpec for Windows Metrology Software

工作环境

20⊥±2°,30-80% 湿度

电源系统

93-264VAC, 47-63Hz, 10Amp